2022-07-06 12:14:54
本文關鍵字：質量流量控制器

質量流量控制器具有較為優(yōu)的性能，可以實現(xiàn)較快、高精度和長期穩(wěn)定的流量控制。其可以使用在不同的流體連接件和電氣接口，可測量50 sccm到200 slm的流量。同時儀表以高精度、長期穩(wěn)定性和可重復性測量和控制質量流量，可覆蓋寬動態(tài)測量范圍。

質量流量控制器外殼由金屬制成，可進行配置。其采用CMOS硅芯片，在這個芯片上集成了模擬和數(shù)字處理電路及高精度傳感器元件，由此具有較高的性能，同時傳感器信號可在芯片上直接轉換成經溫度補償和100%校準的數(shù)字信號，然后進行傳輸。同時多氣體校準可存儲在單個器件上。儀表還具有通用性，使其可以在醫(yī)療和工業(yè)中使用，還能為其提供合適的解決方案。