氣體流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一種用于精確控制氣體流量的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)工藝、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領(lǐng)域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關(guān)工藝的效率與質(zhì)量。浦卓測控作為國內(nèi)首家完全國產(chǎn)自研的MFC制造商，以其卓越技術(shù)和產(chǎn)品性能成為行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者。小編從專業(yè)視角詳細(xì)解析基于層流壓差原理的MFC核心技術(shù)、工作機(jī)制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)。

1. 層流的基本特性

層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài)，在層流狀態(tài)下，氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設(shè)計(jì)提供了理論基礎(chǔ)。

2. 壓差式測量的實(shí)現(xiàn)

層流壓差式MFC通過以下關(guān)鍵組件實(shí)現(xiàn)流量測量：

層流元件：精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)確保氣體在通過時(shí)保持層流狀態(tài)。

壓差傳感器：自研高靈敏傳感器實(shí)時(shí)測量層流元件兩端的壓差值。

計(jì)算方式：測量出壓差后就可以根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質(zhì)量流量。

智能層流質(zhì)量流量計(jì)及控制器的核心優(yōu)勢

3. 完全國產(chǎn)自研

浦卓測控是國內(nèi)首家獲得層流壓差式CPA資質(zhì)批準(zhǔn)證書的企業(yè)，并且是全球第二家有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計(jì)的制造商。其產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)高端市場的技術(shù)空白，具備完全平替進(jìn)口高端設(shè)備的能力。

4. 高精度與高穩(wěn)定性

量程范圍廣：高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求，適應(yīng)多樣化的工況場景。

測控精度：高精型產(chǎn)品測量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以內(nèi)，重復(fù)性達(dá)到±0.1%，在行業(yè)中處于領(lǐng)先水平。

溫度壓力補(bǔ)償：內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器，通過實(shí)時(shí)修正，保證不同環(huán)境條件下的精確測量。

5. 嚴(yán)苛的質(zhì)量保障

核心部件自主研發(fā)：所有關(guān)鍵組件均為自主設(shè)計(jì)與制造，確保質(zhì)量可控，可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品。

疲勞與耐久測試：每款產(chǎn)品需通過數(shù)千萬次疲勞測試，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。

廣泛氣體兼容性：內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫，用戶可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體，開機(jī)即測，無需轉(zhuǎn)換系數(shù)。

基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應(yīng)和可靠性在工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)重要地位。易度智能作為行業(yè)領(lǐng)軍者，以完全國產(chǎn)自研、全球領(lǐng)先的技術(shù)和高可靠性產(chǎn)品，為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案。