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質(zhì)量流量控制器采用熱式原理可實(shí)現(xiàn)控制

2021-08-27 07:54:30
本文關(guān)鍵字:質(zhì)量流量控制器

  質(zhì)量流量控制器在寬動(dòng)態(tài)范圍控制氣體流量。質(zhì)量流量控制器主要是熱式微傳感器,芯片上集成了完整的信號(hào)處理電路。流量測(cè)量采用熱式原理,由模擬控制電路實(shí)現(xiàn)控制。這種集成設(shè)計(jì)以有吸引力的成本實(shí)現(xiàn)性能和穩(wěn)定性。
 
  質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中,并用于石油化工、冶金、制藥等。
 
  質(zhì)量流量控制器含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補(bǔ)償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構(gòu)成了流量控制器。具有重復(fù)性好,壓損小,無可動(dòng)部件,星程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,不需要溫度壓萬補(bǔ)償?shù)忍攸c(diǎn),可應(yīng)用于輕工、化工及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。

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